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3月26日,在上海SEMICON China 2025大会上,山东天岳先进科技股份有限公司(以下简称“天岳先进”)发布了12英寸高纯半绝缘、p型碳化硅衬底,这是公司自上一年11月全球首发12英寸N型碳化硅衬底以来,又一严重技能打破,标志着天岳先进全面跨进12英寸碳化硅新时代。
3月31日,记者在天岳先进公司展厅,看到了这三张“宝物”,恰似三张通明的、金色的、深蓝色的“大号光盘”。据介绍,12英寸衬底的直径是30厘米,8英寸衬底直径是20厘米。而从直径20厘米扩展到30厘米,天岳先进要做的,不只仅是简略扩展。
因碳化硅的组成非常困难,高纯质料在2000多度的高温下分解成原子,在温度梯度的操控下“长”在籽晶上。晶体生长的关键是不能“乱长”,只能长成“4H”这一种晶型,其他200多种晶型都不适合做半导体资料。用微观的“炉子”去操控微观的原子国际,其难度比“老君炼丹”还难。
“‘长’出一炉晶体,有温度、温度梯度、时刻等几十个参数,每一个参数的调整又或许引发其他参数的改变,咱们就一个参数一个参数地调,一炉接一炉地试,经过几千次的试验,总算把12英寸衬底‘长’成了。”天岳先进董事长宗艳民说。
“12英寸碳化硅衬底的发布,标志着碳化硅技能在晶圆尺度上的新高度,预示着职业行将进入一个全新的发展阶段,而天岳先进成为全国际碳化硅衬底技能革新者与领跑者。”宗艳民介绍,12英寸产品在产品面积上较8英寸继续扩展,单片晶圆芯片产出量跃升2倍以上,“简略来讲,便是尺度越大,降本增效越显着。”
12英寸产品,是没有推向市场的“新生儿”。现在,天岳先进的主打产品8英寸衬底,已经在市场上站稳了脚跟。宗艳民介绍,他们的衬底质量水平国际抢先,微管缺点稳定为0,位错缺点每平方厘米几个到几十个,显着优于同职业。
由于质量定心牢靠,天岳先进的碳化硅衬底不只供给国内厂商,还出售到德国博世、英飞凌等国际闻名公司。据国际威望媒体的最新陈述,2024年,天岳先进全球碳化硅衬底的市场占有率为22.8%,位居国际榜首队伍。碳化硅衬底占芯片价值的50%左右,能够说,天岳先进“让国际用上了我国‘芯’”。
碳化硅衬底自主供给,对我国工业将发生何种影响?宗艳民给记者举出了一组数据:一片6英寸碳化硅衬底,做成的芯片就能“装备”两辆电动汽车。碳化硅作为功能优越宽禁带半导体,用它做成的芯片比硅芯片更耐高压、耐高温,工作效率更加高,可前进续航路程10%。置于充电桩内,充电时刻能够从几小时缩短到几分钟。相似的,碳化硅芯片用在风能、太阳能发电的逆变器上,比用硅基芯片功率密度前进3倍、体积减小40%-60%,损耗下降50%以上,一颗碳化硅芯片在全生命周期内能够减排1吨二氧化碳。
天岳先进的12英寸高纯半绝缘型碳化硅衬底产品,凭仗杰出的光学功能优势,正在经过光波导技能道路,加快AR眼镜的工业化使用。跟着光波导技能的前进与量产,高端AR眼镜将逐渐变得更轻浮。
一家2010年才建立的公司,是怎样从无到有“炼”出碳化硅的?宗艳民说,他学的是硅酸盐专业,一向怀着资料报国的愿望。得知山东大学晶体资料研讨地点试验室成功培育出碳化硅单晶,但无法工业化。2011年他决计买下山东大学的5个专利,押上悉数身家,敞开了他的“碳化硅”之旅。十多年间,不管遇到多大的困难,他一向坚定地专心于碳化硅衬底这一个方向。他的方针是,尽快把碳化硅衬底做到全球榜首,为新能源及AI等下流工业供给自主牢靠的国产化资料支撑。